近日，由創(chuàng)微微電子（常州）有限公司研發(fā)生產(chǎn)的8吋Cassette-less清洗設(shè)備順利交付至上海積塔半導(dǎo)體有限公司并開始驗(yàn)證階段，運(yùn)行情況良好。近期創(chuàng)微成功中標(biāo)該客戶后續(xù)10余臺清洗設(shè)備重復(fù)訂單，制程涵蓋8吋至12吋。該批設(shè)備將用于集成電路前段濕法刻蝕、去膠、清洗以及后段金屬刻蝕、有機(jī)物去除相關(guān)工藝，標(biāo)志著創(chuàng)微在濕法清洗領(lǐng)域已達(dá)到國際先進(jìn)水平。

創(chuàng)微自2020年創(chuàng)立以來，依托捷佳偉創(chuàng)集團(tuán)平臺，共享人才及技術(shù)，專注于整合國內(nèi)外濕法技術(shù)與資源，引進(jìn)臺灣地區(qū)、韓國、日本等專家團(tuán)隊(duì)。研發(fā)團(tuán)隊(duì)攻堅(jiān)克難，自主創(chuàng)新，在短短一年的時(shí)間里，先后推出4-8吋全自動Cassette type清洗設(shè)備、8吋全自動Cassette-less清洗設(shè)備及4-8腔Single tool清洗設(shè)備。成功導(dǎo)入青島芯恩、成都德州儀器、上海積塔等國內(nèi)頭部芯片企業(yè)并獲得重復(fù)性訂單。同時(shí)強(qiáng)化軟件實(shí)力，協(xié)同國內(nèi)多家供應(yīng)商著力開發(fā)驗(yàn)證關(guān)鍵零部件，取得了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)的重大突破。

著眼未來，公司已正式進(jìn)軍12吋高階Single及Wet bench設(shè)備領(lǐng)域，與國際一線大廠展開直接競爭。在擴(kuò)大設(shè)備應(yīng)用面的同時(shí)，憑借高效能的自動化設(shè)計(jì)，高產(chǎn)能的生產(chǎn)排程軟件，高穩(wěn)定性的傳輸系統(tǒng)等技術(shù)，結(jié)合高質(zhì)量的品質(zhì)系統(tǒng)，為客戶進(jìn)行國產(chǎn)關(guān)鍵零部件的質(zhì)量把關(guān)，最終同廣大上下游廠商一道，共同為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更多貢獻(xiàn)。