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管式二合一PECVD設(shè)備

AlO+SiN薄膜沉積。
管式PE-Poly設(shè)備

TOPCon電池隧穿氧化層、i-Poly、D-poly沉積。
管式LPCVD設(shè)備

TOPCon電池隧穿氧化層、i-poly、D-poly低壓化學(xué)氣相沉積。
全自動(dòng)石英舟裝卸片機(jī)

集裝片和卸片一體，可從石英舟中把擴(kuò)散后的硅片卸到片籃中，也可從片籃中將制絨后的硅片裝入石英舟中?？稍?個(gè)石英舟插槽中插?兩片，實(shí)現(xiàn)單面擴(kuò)散片工藝，也可在?個(gè)石英舟插槽中插入一片，實(shí)現(xiàn)雙面擴(kuò)散片工藝。采用裝片與卸片可連續(xù)銜接?式，實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)；也可單獨(dú)裝片或單獨(dú)卸片。
全自動(dòng)石墨舟裝卸片機(jī)

本設(shè)備為在線式，可與一臺(tái)或兩臺(tái)側(cè)出舟設(shè)備對(duì)接，實(shí)現(xiàn)石墨舟的自動(dòng)傳輸和硅片自動(dòng)裝卸，滿足在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)過(guò)程中的PECVD工藝前后，將片籃中的硅片自動(dòng)裝載到石墨舟，并將石墨舟輸送到PECVD設(shè)備中，或?qū)ECVD設(shè)備中的石墨舟輸送到本設(shè)備，并將石墨舟中的硅片自動(dòng)裝載到片籃中。
HJT清洗制絨設(shè)備

對(duì)高效太陽(yáng)能電池異質(zhì)結(jié)電池片進(jìn)行制絨、清洗。
HJT板式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備

制備本征及摻雜非晶硅薄膜。
板式透明導(dǎo)電薄膜沉積設(shè)備(RPD/PAR/PVD)

板式物理鍍膜設(shè)備用于鍍著透明導(dǎo)電薄膜于襯底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
全自動(dòng)卷紙印刷機(jī)

把鋁漿、銀漿通過(guò)壓力印刷至電池片表面，經(jīng)過(guò)烘干燒結(jié)后成為太陽(yáng)能電池正負(fù)極。
HJT全自動(dòng)半片卷紙印刷機(jī)

把銀漿通過(guò)壓力印刷至電池片表面，經(jīng)過(guò)烘干固化后成為太陽(yáng)能電池正負(fù)極。
光注入退火爐

調(diào)節(jié)電池片費(fèi)米能級(jí)變化，控制H總量及價(jià)態(tài)，提高H鈍化與缺陷修復(fù)效率，達(dá)到降低P型電池衰減效應(yīng)，提高N型電池轉(zhuǎn)換效率的效果。
網(wǎng)鏈?zhǔn)胶娓蔁Y(jié)爐

把印刷好的前后電極燒融到PN結(jié)層，形成歐姆接觸，讓電池片細(xì)柵線收集到的電能通過(guò)主柵線匯流出來(lái)。

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